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場發(fā)射掃描電鏡SU5000產(chǎn)品特點:
1、二次電子分辨率:2.0nm at 1kv
2、高效PD-BSD,超強的低加速電壓性能,低至100V成像
3、大束流(>200nA)便于高效微區(qū)分析
4、具有優(yōu)異的低真空(10-300Pa)成像性能,配備高靈敏度低真空探測器(UVD)
5、開倉式快速簡單換樣(最大樣品尺寸:ф200mm*80mmH)
6、微區(qū)分析:EDS,WDS,EBSD等
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